主要應(yīng)用于柔性顯示屏(OLED)的激光切割、點(diǎn)亮測試、激光鐳射修復(fù)、AOI外觀檢測及自動搬運(yùn)翻轉(zhuǎn)等工序;配套的設(shè)備主要有激光切割機(jī)、AOI檢測、鐳射修復(fù)等設(shè)備。
作為一種真空吸附承載平臺,具有高平整度、吸附力均勻、可實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定局部吸附等特點(diǎn),特別適用于吸附柔性屏幕(OLED)、尺寸較小的晶圓片等工件的加工和檢測制程。
固定尺寸的吸盤,能同時應(yīng)對不同尺寸料片的吸附;表面電阻106-109(Ω);反光率、孔徑以及氣孔率可非標(biāo)定制;最大尺寸可達(dá)2000mm*1000mm,平面度≤0.08mm。