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主要用于硅、碳化硅、藍寶石、玻璃等大直徑晶圓V型槽的倒角粗精加工。
粒度(800#~4000#),槽型(R型、RT型等)等可定制,具有較好的跳動及加工質(zhì)量,可實現(xiàn)微米級加工精度,晶圓加工質(zhì)量達到國內(nèi)領(lǐng)先水平。