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主要用于硅、碳化硅、藍(lán)寶石、玻璃等大直徑晶圓V型槽的倒角粗精加工。
粒度(800#~4000#),槽型(R型、RT型等)等可定制,具有較好的跳動(dòng)及加工質(zhì)量,可實(shí)現(xiàn)微米級(jí)加工精度,晶圓加工質(zhì)量達(dá)到國(guó)內(nèi)領(lǐng)先水平。